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전처리 설비(Pre-Treatment System)
원수(Raw Water)에 포함된 미세 부유 입자 및 현탁 고형물(SS), 잔류 염소 등을 정밀하게 제거해 후단 RO 설비의 오염을 방지하고, 전 공정의 안정성을 확보하고 무결점 초순수 생산을 위한 최적의 전처리 환경을 보장
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- MMF (Multi-Media Filter)
- 다층 여과를 통한 탁도 및 부유물질 제거
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- ACF (Activated Carbon Filter)
- 활성탄 흡착을 이용한 잔류 염소(Cl), 유기물, 냄새 제거 (RO 보호)
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- Cation IX (Softener)
- 경도 성분 (Ca2+, Mg2+) 제거를 통한 스케일 방지
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- Degasifier (DG)
- 용존 CO2 제거 및 음이온 교환수지 부하 경감
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1차 순수 제조 설비(Make-Up System)
역삼투(RO) 및 이온교환 공정을 통해 전처리수 내 이온, 유기물(TOC), 미립자 등을 99% 이상 제거하며, 최종 초순수(UPW) 품질의 핵심인 고품질 비저항(Resistivity)을 확보해 시스템 전체의 정밀 정제 효율과 공정 신뢰성을 극대화합니다.
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- Heat Exchanger
- 수온을 25±1ºC로 일정하게 유지하여 RO 효율 최적화
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- RO (Reverse Osmosis)
- 역삼투압 원리를 이용해 이온, 유기물, 미립자를 가장 광범위하게 제거 (핵심 공정)
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- VDG (Vacuum Degasifier)
- 진공 및 기체 분리막을 이용해 용존 산소 (DO) 및 탄산가스 제거
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- C-EDI / Mixed Bed
- 전기적 탈이온 방식 또는 이온교환수지를 통해 잔류 이온을 제거하여 비저항 (Resistivity) 확보
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초순수 제조 설비(Polishing System)
1차 순수 내 잔류 이온과 TOC, 미립자를 완벽히 제거해 이론 순도의 초순수를 생산하고, 식각 부산물 제거 등 Fab 세정 공정의 수율 극대화를 위해 무결점 수질을 안정적으로 공급합니다.
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- UV Oxidizer
- 185 nm 파장의 자외선을 이용해 난분해성 미량 유기물(TOC)을 산화/분해 (CO2 化)
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- Polisher (Mixed Bed)
- 고도로 정제된 이온교환수지를 사용해 UV 산화 부산물 및 잔류 이온 완벽 제거
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- UF (Ultra Filtration)
- 최종적으로 미립자 (Particle)와 박테리아 사체를 제거하는 마지막 필터
